微透鏡（訂制品）

1、 微透鏡列陣種類

1.1二元微透鏡列陣

二元微透鏡列陣指的是利用臺階狀的面形結構來趨近于連續浮雕結構的微透鏡列陣。該元件利用二元掩模通過多次套刻完成多個臺階結構的制備，可制備結構指標參數如下：

波段范圍: 0.248μm ~10μm； 子口徑形狀：圓形、矩形、正六邊形、環形等；

子透鏡口徑：0.01mm~4mm； 透鏡材料：石英、硅、鍺、硒化鋅等；

典型臺階數：2、4、8、16； 衍射效率： 75%~95%。

現有的二元微透鏡列陣列表如下，

1.2連續面形微透鏡列陣

采用獨特的成形及面形控制技術，實現無衍射色差，適用于寬波段系統成像和聚焦的高精度連續表面微透鏡列陣。

數值孔徑：0.01~0.5； 透鏡面形：球面、拋物面、雙曲面等；

面形誤差：<3%； 子透鏡口徑：5μm~4mm； 填充因子：> 98%；

子孔徑形狀：四邊形、六邊形、圓形、矩形等；

透鏡材料：石英、硅、鍺、硒化鋅、K9、氟化鈣、PMMA、PC等

1.2.1柱透鏡列陣

可以加工任意面形分布（如非球面）的微柱透鏡列陣，結構周期20μm~5mm，應用于光聚焦、整形等領域。下圖所示為本單位研制的特殊面形的柱鏡結構，面形精確控制在50nm，表面粗糙度小于10nm。

1.2.2 四邊形微透鏡列陣

四邊形微透鏡是指口徑形狀為四邊形或者按照四邊形排布的透鏡?？梢远ㄖ瓶趶椒秶?μm~5mm之間的四邊形微透鏡列陣。

四邊形微透鏡列陣列表如下，

1.2.3六邊形微透鏡列陣

六邊形微透鏡列陣指的是口徑形狀為六邊形或者按照六邊形排布的微透鏡列陣?？啥ㄖ瓶趶酱笮≡?0um~5mm（透鏡中心間距）之間的六邊形微透鏡列陣。

現有六邊形微透鏡列陣列表如下，

1.2.4任意排布任意面形微透鏡列陣

可以按照客戶的特殊需求訂制任意面形任意排布的微透鏡列陣。以下為本單位所制備的離軸型微透鏡列陣的形貌圖以及焦斑圖。

2、微透鏡列陣典型應用

2.1哈特曼波前傳感器

微透鏡列陣是夏克-哈特曼波前傳感器波前分割的核心器件，通過計算其焦斑位置的偏移來測量波前。該波前傳感系統可應用于半導體制造、航空航天、眼科醫學等研究及工業加工領域的高精度、無損、在線波前檢測。

2.2 焦平面聚能器件

由于傳感器本身的結構特點，感光元與感光元之間存在間隙，這些間隙的存在造成光入射能量的極大損失，利用微透鏡列陣將原本入射到這些間隙上的光會聚到感光元上，可以極大的提高傳感器的光能利用率。

2.3光場相機

利用微透鏡列陣與場鏡之間的相互匹配，獲取大數據量豐富的圖像數據，利用后續算法可實現多景深圖像信息再現，進而可實現連續空間的數據獲取。

2.4三維顯示

利用微透鏡列陣與微結構圖形之間的相互作用，可實現三維立體影像的獲取和重現，進而發展可應用于包裝、防偽、3D印刷、立體廣告牌、三維影視、立體畫等技術領域。

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